广东省线上一流课程《先进半导体工艺实践》

2024-05-21

课程名称：先进半导体工艺实践

课程类型：广东省线上一流课程

课程负责人：于洪宇教授

   于洪宇教授，国家青年特聘专家，IET Fellow，广东省科技创新领军人才。发表学术论文近450篇，其中近250篇被SCI收录，总他引次数近6100次，H影响因子为46；编辑2本书籍并撰写了4本专业书籍的章节；发表/授权百余项国内外专利。

授课团队成员：李毅达助理教授、李携曦助理教授、刘欢实验师

课程上线平台：课程已在粤港澳大湾区开放平台上线

课程网址：https://mooc1.gdhkmooc.com/course-ans/courseportal/241696598.html

课程简介：本课程以半导体器件制造过程为实践案例，讲解包含半导体工艺加工平台洁净间的安全规范、光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、原子层沉积、磁控溅射、电子束蒸镀、快速热退火等重点工艺，及椭偏仪、探针台、功率分析仪等测量测试设备的原理与实验教学。课程配有工艺技术相关的科普视频，及配套虚拟仿真实验软件，可反复练习。

线上课建议学分：1学分

考核方式：线上习题及考试

教学形式与内容：本课程包含视频课程27节，共计343分钟，并配有习题。

课程创新及特色：本课程包含理论课教学15节，实验课教学12节。并创新的提供配套实验课内容的15个设备操作的虚拟实验，覆盖制作半导体电容器件的完整流程。虚拟实验为“闯关式”设计，是以一个关卡推动另一个关卡等激励形式，注重教学过程重的交互形式、自由程度，也增加了趣味性。另提供讲解10个半导体工艺重要知识点的科普视频，可供学生预习或专业知识拓展使用。

课程思政建设：本课程将根据半导体工艺实践的专业课程特色和优势，围绕育人目标，通过对当前热门的半导体工艺技术及国内外相关设备发展情况等的讲解，注重学生科学思维方法的训练和强化科学、工程伦理的教育，培养学生的责任感、使命感和精益求精的大国工匠精神，激发学生科技报国的家国情怀和使命担当。

课程发展规划：

1、加强课程思政。以省一流线上课程为契机，坚持立德树人，加强课程思政教育。

2、加强团队建设。加强团队凝聚力，集思广益，并加强注重集体备课及对年轻教师的培养。

3、注重课程持续优化，争取国家一流线上课程。总结线上学生反馈问题，不断更新完善课程内容，提高课程水平。