国家级一流本科课程简介 《集成电路工艺原理》

2020-04-20

课程名称：集成电路工艺原理

课程类型：线下一流课程

课程负责人：汪飞教授

课程团队其他主要成员：蒋苓利教学工程师

    汪飞，深港微电子学院副院长、教授。2008年加入丹麦科技大学从事博士后研究，2010年破格擢升为助理教授。2013年加入南方科技大学，入选广东省“特支计划”，深圳市“孔雀计划”B类人才，获得广东省自然科学杰出青年基金资助。累计主持包括国家重点研发计划（课题负责人）、国家自然科学基金（面上、青年）、教育部、丹麦FTP项目(相当于863)等各类研究项目15项，企业横向课题4项。已出版英文专著3章节，累计发表学术论文200余篇，其中SCI期刊论文100余篇(含2篇封面文章，1篇ESI高被引论文)。

    蒋苓利，教学工程师，2014年毕业于电子科技大学，博士。自2016年起，担任南方科技大学微电子学科方向实验教学工作，任教课程共6门，具有丰富的实验教学经验。2020年荣获南方科技大学青年教师教学竞赛二等奖，在研教改项目1项。

课程简介、目标与任务：

《集成电路工艺原理》课程是基于校级视频公开课程进行建设。自 2016 年起，在校内平台与优酷网上进行视频公开分享，并开放给社会人士与业界工程师访问学习。本课程是省级教改项目“无线通信技术人才培养创新与实践”的一个重要组成部分，该项目获得广东省教育教学成果奖二等奖。本课程于2020年被评为“广东省一流本科课程”。

《集成电路工艺原理》目的在于帮助学生了解建立先进半导体集成电路前端和末端工艺技术。通过讨论书中的基本原理，扩增参考文献等，加强对每一个方向问题的理解。在上课时让学生用学到的知识去解决现实试验中出现的种种问题。通过每节课知识点的理解学生将充分了解每一个制造工艺的优点和局限性。目的希望学生能够真正独立设计器件，并能够在实际生产试验中发现解决问题。

该课程开设以来，教学效果显著。汪飞教授积极鼓励并指导学生在学习课程知识的基础上，结合前沿科技热点参与课程研究项目。学生们的研究成果多次发表于各种学术会议、 并参加科技竞赛以及创新项目的申请。围绕本课程教学指导的本科生中， 累计申请大创项目 8 项、攀登计划 2 项，学生参与由英国大使馆文化教育处主办的“爱·创·造”电子工程创客挑战赛，获得了大学组总冠军。

课程特色：

1.理论与实践紧密结合。理论教学重在讲授基础原理，为学生搭建集成电路分步工艺的知识阶梯。实验教学通过仿真工具和洁净间实验操作，协助学生将已学的知识融会贯通并加以运用。

2.前沿性与基础性并存。在教学过程中，穿插引入国际最新科研动态以及科研论文作为教学素材，使学生及时了解国际前沿科技和技术发展趋势。另一方面，本课程牢牢把握半导体器件与材料的经典理论，为学生夯实地基，以适应未来多方面能力的发展。

3.强大的实验教学平台。南方科技大学具有先进的微纳加工与测试平台，让学生们有机会接触最尖端的加工仪器。

4.理论课的全英文教学。本课程的理论课采用全英文授课。其教学语言、课件教材及阅读材料均为全英文。学生作业、报告也是以英文形式进行。学生的英语听、说、读、写能力得到全面锻炼，能更好的与国际前沿接轨。

5.多维度课程评价方式。本课程摒弃了传统的考核方式，将课程综合评价方式融入到教学的各个环节。此外还积极尝试开展“寓学于教”的教学模式。学生通过与教师交流试讲，对知识点进行有效复盘并牢固掌握。

6.拓展多种教学途径。通过视频课程、虚拟仿真线上实验教学软件、科普视频等多渠道线上授课方式，丰富教学方式，增加与学生的互动，有效的提高了学生的学习兴趣，拓宽了教学途径。

7.红专并进，融入思政元素。在课程建设过程中，教师团队结合在国外的学习生活体验，分析科技争端与贸易冲突，帮助同学们理性认识我国目前在集成电路工艺装备、材料及人才储备等方面的不足，鼓励学生发奋图强，坚定建设伟大祖国的理想信念。